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多通道混气系统:2路浮子混气系统

2路浮子混气系统是一款小型的多通道混气系统,两个浮子流量计可以将流量计速率控制在16 to 160mL/min,每路气体可通入混合罐中进行混气。可用于惰性气体的控制,可用以小型管式炉,手套箱,等离子清洗机,小型PECVD系统等。

2路浮子混气系统特点

1. 本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。

2. 气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观,实用,操作简便。

3. 流量显示准确,可有效地控制气体消耗量。

4.所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。

2路浮子混气系统主要参数:

产品型号

AMS 2路浮子供混气系统

2-way float air mixing system

浮子流量计

10-100ml/min

16-160ml/min

(流量可根据客户需要选配)

机械压力表

量程范围:

-0.1-0.15MPa(0.01MPa/grid)

针阀:

316不锈钢

管件:

不锈钢Φ6〞,尼龙管L12〞IDΦ6〞

气体混料罐:

Φ80×140mm不锈钢混气罐

截止阀:

316不锈钢针阀Φ6〞

可选

可选

CVD或者PECVD。

液相气体发生器。

1200℃微型二通道混气CVD系统

Plasma等离子清洗


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