二硫化钼CVD气相沉积系统：二硫化钼CVD气相沉积管式炉
二硫化钼CVD气相沉积管式炉为小型二硫化钼CVD气相沉积系统。硫粉预热器采用管内测控温以保证在250℃以下，稳定控制硫蒸汽的蒸发时机和蒸发温度。真空机组装有真空粉尘过滤器以保护机械式真空泵不被硫粉尘损坏。采用耐腐蚀电阻电容复合真空计（在1000Pa以上测量不受气体种类影响，耐硫蒸气腐蚀），通过调节真空蝶阀的开启程度调节炉管内压力稳定，在1200℃以下的工艺温度稳定气相沉积二硫化钼等二维化合物材料。
二硫化钼CVD气相沉积管式炉由双温区管式炉、硫粉预热器(双温区管式炉与预热器可滑动)，3路质量流量计供气系统，机械式真空泵等组成。
主要技术参数
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硫粉预热器
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型号：SGM YTF60-400C 工作温度：350℃ 最高温度：400℃ 升温速率：30℃/min 推荐升温速率：10℃/min 控温方式：智能化30段可编程控制 工作电压：AC220 V 额定功率：800W 控温精度：±1℃ 加热元件：电阻丝 |
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双温区硫化炉 |
型号：STR MTF60-1200S 技术参数： 额定功率(KW):3 额定电压(V):AC220v 50/60 Hz 设计温度(℃):1200（1 hour） 持续工作温度(℃）：1100 升温速率（℃/min）：≤50 炉管尺寸（mm）： 高纯石英管Φ60×1500mm 加热区长度（mm）：440mm 恒温区长度（mm）:200mm 控温方式:模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 控温精度(℃):±1 加热元件:电阻丝 |
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供气系统
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质量流量计 重量：35Kg 外形尺寸：600x600x650mm 连接头类型：双卡套不锈钢接头。
标准量程（N2标定)：50sccm、200sccm、500sccm； 准确度：±1.5% 线性：±0.5～1.5% 重复精度：±0.2% 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa 最大压力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 显示：4位数字显示 工作环境温度:5~45高纯气体 内外双抛不锈钢管：Φ6 压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀：Φ6 |
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低真空机组
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技术参数： 空气相对湿度≤85%， 工作电电压：220V±10% 50~60HZ 功率：1千瓦 抽气速率：4L/s 极限真空：4X10-2Pa 实验真空度：1.0X10-1Pa 容油量：1.1L 进气口口径：KF25 排气口口径：KF25 转速：1450rpm 噪音：50dB 外型尺寸:450×180×240mm |
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配真空粉尘过滤器，DN25手动蝶阀用于控制炉管内压力，INFICON PCG554复合真空计 |
