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热门关键词: 退火炉 退火炉 二硫化钼CVD气相沉积管式炉 沉积系统 小型管式气氛炉 管式气氛炉 一体化箱式电阻炉
小型快速退火电炉采用红外灯管加热，通过滑动炉体实现快速降温。红外线灯管是填充气体内含有部分卤族元素或卤化物的充气白炽灯。这种红外灯管加热元件是为滑轨炉设计的,升温速率可达到120℃/S。
应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验.
小型快速退火电炉可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体，加之强风冷设计，可对样品进行快速升降温处理；管内测温设计，
温控精度高,额定升温速率50℃/s;紧凑的台式设计，快速连接法兰，减少了炉管因安装造成损坏的可能，方便操作。
| 产品名称 | RTP-小型快速退火炉 |
| 额定功率 | 9KW |
| 额定电压 | 220AC 50/60Hz |
| 设计温度 | 1000°C |
| 连续工作 | 950°C(<1 小时) |
| 加热区长度 | 300mm |
| 恒温区长度 | 100mm |
| 加热元件 | 红外灯管 |
| 温度控制 | 国产程序控温系统可编程50段程序控温； |
| 控制精度 | ±1℃ |
| 石英管尺寸 | Φ110*380MM |
| 炉管材质 | 石英管 |
| 滑动距离 | 355mm |
| 滑动方式 | 手动滑动 |
| 建议升温速度 |
室温900℃：30℃/sec 900℃~1000℃： 10℃/sec |
| 外形尺寸 | 950 X 350 X 530 mm |
| 重量 | 45Kg |
| 标准配置 | 气路一套（含真空压力表）石英管一支、高温手套一副。76MM的样品石英架一个。 |
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