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热门关键词: 蓝宝石晶片退火炉 二硫化钼CVD气相沉积管式炉 沉积系统 小型管式气氛炉 管式气氛炉 一体化箱式电阻炉
蓝宝石晶片退火是在退火过程中，分阶段升温、保温，并在退火过程中，适当旋转蓝宝石晶片。
经过退火使得蓝宝石在切割、研磨和抛光过程中产生的加工应力释放均匀、充分，可以减小温度场对加工应力释放的影响。
蓝宝石晶片退火方法：
I、将蓝宝石晶片装入退火炉中，快速直接升温至低温度区域150℃-300℃，保温2-4小时,升温时间为1-2小时；
2、在低温区保温过程中，将蓝宝石晶片旋转180度，使整批晶片受热均匀；
3、经过低温保温一段时间后，升温至中温区域600℃-800℃，保温5-10小时，升温时间为4-6小时；
4、在中温区保温过程中，将蓝宝石晶片旋转180度，使整批晶片受热均匀；
5、经过中温保温一段时间后，升温至高温区域900℃-1600℃，保温10-20小时，升温时间为6-20小时。
6、在高温区保温过程中，将蓝宝石晶片旋转180度，使整批晶片受热均匀；
7、高温保温结束后，以每小时10℃-50℃降温至室温出炉。
切割、研磨或抛光后的蓝宝石晶片分阶段升温并且保温一段时间至900℃-1600℃，对蓝宝石晶片进行退火处理，以消除切割、研磨或抛光的加工应力，并在保温阶段旋转晶片，使整个晶片退火均匀，消除退火炉温度场不均的影响；经退火的晶片加工应力基本消除，整个晶片退火均匀，退火后的晶片翘曲度小。
蓝宝石晶片退火炉、1600度蓝宝石晶片退火炉
蓝宝石晶体的脱碳去色退火方法主要包括两大步骤：
先将待退火的蓝宝石晶体置于退火炉内，进行高温氧化气氛退火，消除晶体内低价态杂质离子Cr<'3+>、Ti<'3+>对可见光的吸收和利用高温下氧气去碳的吸附作用；再进行高温强还原气氛脱碳退火，在充入氢气的退火炉内升至温度高达1600℃至1800℃，恒温100小时以上，利用分子状态下的氢气吸附碳，达到彻底脱碳的目的。经过退火处理的蓝宝石晶体无色透明，透过率提高了，位错密度降低了。
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