1700度真空气氛电阻炉
真空气氛电阻炉用于在1700℃以下半导体器件、金属材料的热处理和还原性烧结等工艺，也可用于产品的炭化试验。该1700度真空气氛电阻炉炉采用硅钼棒加热，加热温度可达1700℃，厦门宇电智能温控仪表，温控仪可设定50段程序、PID控制参数自整定、并具有断偶、超温报警保护等功能。炉体采用超轻质高铝纤维材料，具有热容小、温度升降控制灵活、节能等特点。设备可根据真空度的需要分别选用机械泵或真空机组，非常适合于试验和小批量生产之用。
真空系统由真空加热室、旋片式机械泵组成，系统冷态极限真空度小于15pa ,一级机械泵（配电磁阀）。真空加热室由双层钢板焊成圆桶形密封套，内装炉膛和端盖，为设备提供良好的真空加热环境；同时利用钢板夹层隔绝热量，降低了炉体表面温度，防止灼伤。大抽速式旋片式机械泵可以在很短的时间内使系统达到要求的真空范围，保证了产品质量。密封元件则采用硅橡胶密封材料密封，既提高了密封效果，又防止了在氧化气氛下硅橡胶的加速老化，因此特别适合做高温真空气氛设备的密封使用，提高了设备的寿命和使用周期，减少了因密封元件老化而产生的气密泄漏。
主要结构特点：
1、采用双层壳体结构，炉体表面温度更低，设计紧凑，满足实验室小空间要求；
2、炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，无杂球，纯度高，节能；
3、加热元件采用硅钼棒，并根据使用气氛的不同，镀入了不同的保护涂层，大大提高了使用寿命；
4、罐型炉体设计，独特的密封技术，保证了炉腔的气密性，真空度远远超过同类产品；
5、预留两路进气接口，可单独控制气体流量，配备混气装置，通入不同的气氛，满足气氛实验要求；
6、本机集成了内循环水冷却系统，避免外接水源的繁锁，减缓密封条老化，维持外表面温度更低；
7、本机具有超温报警并断电保护功能，漏电保护功能，操作安全可靠，保障了人身安全；
8、预留了485转换接口，通过选配我司专用软件与计算机联接，可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。
技术参数：
| 电炉型号 | SGM VB12-17 | SGM VB36-17 |
| 炉膛尺寸 | 300200200mm（深宽高） | 400300300mm（深宽高） |
| 尺寸和重量 |
设备：85010001500mm；500kg 包装：85010001450mm；560kg |
设备：95011001600mm；630kg 包装：85010001450mm；710kg |
| 工作电源 | AC220V，50/60Hz；额定功率8kw | AC380V，50/60Hz；额定功率14kw |
| 炉体结构 | 双层壳体结构，卧式结构 | -- |
| 炉膛 | 真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好 | -- |
| 炉门结构 | 左侧开门，不锈钢手轮挤压式密封 | -- |
| 温控系统 | 温度控制系统采用触摸屏操作，人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制50段升降温程序；控温精度±1℃ | -- |
| 显示模式 | 液晶触摸屏显示 | -- |
| 加热元件 | 1800型硅钼棒 | -- |
| 测温元件 | B型热电偶，正后方测温 | -- |
| 设计温度 | 1700℃ | -- |
| 连续工作温度 | ≤1600℃ | -- |
| 升温速度 | 推荐≤10℃/min，上限升温速度20℃/min | -- |
| 降温速度 | 700℃以上≤10℃/min | -- |
| 真空度 | ≤15Pa | -- |
| 气体流量 | 两路浮子流量计混配气系统，量程：0.3-3L/min | -- |
| 不同气氛下的上限使用温度 |
NO2、CO2、O2、Air He、Ar、Ne SO2 CO、N2 湿H2 干H2 |
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| 执行标准 | GB/T 10066.1/2004、GB/T 10067.4/2005 | -- |
| 标准配置 | 主机1台，坩埚钳1把，高纯氧化铝坩埚2个，说明书、合格证、保修卡各1份 |
| 不同气氛 | 蕞高使用温度 |
| NO2、CO2、O2、Air | 1600 |
| He、Ar、Ne | 1550 |
| SO2 | 1550 |
| CO、N2 | 1600 |
| 湿H2 | 1500 |
| 干H2 | 1550 |
