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热门关键词: 石英陶瓷坩埚 石英陶瓷坩埚 二硫化钼CVD气相沉积管式炉 沉积系统 小型管式气氛炉 管式气氛炉 一体化箱式电阻炉
石英陶瓷坩埚，全称为高纯熔融石英陶瓷坩埚（二氧化硅含量≥99.9%）。是以高纯熔融石英为原料做成的陶瓷质坩埚。一般情况下，其形状主要有方形和圆筒形。其中，方形的高纯石英坩埚用在多晶硅铸锭环节，充当多晶硅化料和长晶的容器；圆形的高纯石英坩埚则用在单晶硅中拉单晶的环节。
石英陶瓷坩埚生产工艺为:制备料浆--浇注成型--毛坯干燥--烧结--切割磨削加工--成品。
材料性能参数：
长期使用温度（℃）：1100
|
项目 |
单位 |
性能指标 |
|
SiO2含量 |
wt% |
≥99.5 |
|
体积密度 |
g/cm3 |
1.80-1.90 |
|
显气孔率 |
% |
14-17 |
|
抗压强度 |
MPA |
≥50 |
|
热膨胀系数 |
×10-6/℃ |
≤0.6 |
|
热传导率 |
w/m.℃ |
0.65 |
熔融石英陶瓷坩埚由于具有结构精细、热导率低、热膨胀系数小、制成品尺寸精度高、高温不变形、热震稳定性好、电性能好、耐化学侵蚀性好等特点，因此在玻璃深加工行业、冶金工业、电子工业、化工工业、航空航天等领域得到广泛应用。
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