小型双炉体滑动管式炉蒸发升华高温炉

蒸发升华用小型双炉体滑动管式炉为小型双炉体滑动管式炉、蒸发升华高温管式炉。小型双炉体滑道管式炉两个炉体可在滑轨上滑道，实现对原材料的蒸发/升华，及薄膜沉积。为取得zui快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得快速冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端，是低成本快速热处理的高温炉子。

结构特点

1、具有2个炉体，每个炉体可独立控温、可滑动。

1、炉体采用双层空气隔热技术，配有自动冷却风扇，降低炉体外壳温度;

2、炉膛材料采用陶瓷纤维，呈现温场均衡、表面温度低、升温速率快、节能等优点;

3、电热元件采用高电阻合金丝，表面负荷高，发热速度快;

4、加热区长度达400mm,温场更均匀;

5、保护管采用高纯石英管、耐温1150℃;

6、炉体两端采用铰链结构的不锈钢密封法兰，方便操作、耐高温、耐腐蚀;

7、左右两端采用气动支撑杆，方便上炉体的开启;

8、密封性好，配合扩散泵或分子泵，炉子真空度可达10-3pa;

9、采用程序控温系统可编辑30段程序控温，控温精度±1℃，移相触发、可控硅控制;

10、炉体整体安装四个万向轮，方便整体移动;