1200℃小型滑动式管式电炉
1200℃小型滑动式管式炉为实验室用1200度炉膛可滑动式管式电阻炉，该1200℃小型滑动式管式炉炉底安装一对滑轨，可用手动滑动，从而实现快速加热冷却。为取得较快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得较快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10℃/S
1200℃滑轨式管式炉采用一体化结构设计，能够满足1100℃以下快速升温和快速降温的特殊工艺要求。通过移动炉体实现快速冷却，并可以预先设定温度，移动到样品处，实现快速升温的目的。这种管式炉可用于RTP工艺和CVD石墨烯工艺。
1200℃小型滑动式管式电炉主要技术参数：
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电炉名称 |
1200℃小型滑动式管式电炉 |
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电炉型号 |
SGM-MT40-12 |
SGM-MT60-12 |
| 电炉结构 |
开启式、炉体滑动 |
开启式、炉体滑动 |
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温区 |
单温区 |
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加热区长度 |
240mm |
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恒温区长度 |
100mm |
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石英管管径（可选配） |
Φ40 |
Φ60 |
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滑动距离 |
≈300mm,炉管总长1400mm |
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滑动方式 |
自动滑动/手动滑动(由温度控制器自动控制移动。当程序完成，炉子按设定的速度滑动） |
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极限温度 |
1200℃ |
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加热元件 |
高电阻电热合金丝0Cr27A17Mo2 |
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炉管材料 |
石英玻璃管 |
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炉管极限工作温度 |
﹤1200℃ |
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温度控制 |
国产程序控温系统50段程序控温；进口程序控温系统40段程序控温 |
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空炉升温时间 |
﹤15min |
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测温元件 |
N型热电偶 |
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控制精度 |
±1℃ |
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额定功率 |
1.2Kw |
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额定电压 |
220V |
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升温速度 (配炉管时) |
500℃以下≤5℃/min； 500-800℃≤10℃/min； 800-1000℃≤5℃/min； 1000-1200℃≤2℃/min |
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外型尺寸 (长*宽*高） |
1400x290x670mm |
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重量 |
35Kg |
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标准配置 |
气路总成一套（含真空压力表）、石英管一支、石英堵两个、石英舟一个、钩子一把、高温手套一副。 |
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滑动管式炉参考型号：
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设备型号 |
设计温度 |
管径 |
加热区 |
温区数 |
热电偶 |
电压 |
功率 |
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SGM MT40-11-1 |
1100℃ |
40mm |
250 mm |
1个 |
K型 |
220V |
3.0KW-5kw |
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SGM MT60-11-1 |
1100℃ |
60mm |
250 mm |
1个 |
K型 |
220V |
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SGM MT80-11-1 |
1100℃ |
80mm |
250 mm |
1个 |
K型 |
220V |
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SGM MT100-11-1 |
1100℃ |
100mm |
250 mm |
1个 |
K型 |
220V |
额外选配 ：
1、炉内测量系统（氧含量测量系统、温度测量系统）；
2、真空系统（旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组）；
3、气氛系统（浮子流量计、质量流量计）；
4、监控系统：（温度记录仪、触摸屏远程监控）；
注：选件需配置拓展柜体；
滑动管式炉使用注意事项：
1、在炉管内，气压不得高于0.02MPa。
2、为了防止气瓶内部气压过高，向炉管内通入气体时必须安装减压阀。建议选购本公司提供的减压阀，其量程为0.01MPa-0.1MPa，使用更加安全和精确。
3、当炉体温度超过1000℃时，炉管内不能处于真空状态。炉管内气压应与大气压相等，保持常压状态。
4、进入炉管的气体流量必须小于200SCCM，以避免冷空气流对加热石英管造成冲击。
5、石英管的长时间使用温度不应超过1100℃。
6、对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。如果必须关闭气阀进行加热实验，则需要时刻关注压力表的读数。如果气压超过0.02MPa，必须立即打开泄气阀，以防意外事故的发生，如炉管破裂或法兰飞出等。
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